凈化車間特征
潔凈度等級(jí)一般為萬級(jí),室內(nèi)要求恒溫恒濕,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按照標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格控制,ESD控制嚴(yán)格即靜電有特別要求。相對(duì)濕度控制在50-60%之間,以免導(dǎo)致廠房干燥從而產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
結(jié)構(gòu)材料
1.墻面天花:凈化廠房墻、頂板材采用50mm厚夾芯彩鋼板,角與角之前的拼接選用圓弧連接,宜清潔且美觀;
2.地坪:用2mm/3mmPVC防靜電地坪,減少靜電干擾;
3.管道:送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板;
4.送風(fēng)口:送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
凈化無塵車間通風(fēng)工程凈化工程包括:
(1)通風(fēng)系統(tǒng)(送排風(fēng))。
(2)空調(diào)系統(tǒng)(制制熱)。
(3)潔凈空調(diào)機(jī)組(新風(fēng)過濾單元或過濾器)。
(4)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)(溫度調(diào)節(jié)和濕度調(diào)節(jié))
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